Alla China International Import Expo di Shanghai (5-10 novembre) SMEE, l’unica azienda cinese che consegna in serie litografi per i chip, ha esposto il modello dei suoi nuovi SSC800 e SSB800. In Cina qualcuno l’ha chiamata una svolta, altri hanno fatto notare che non stampano chip più fini di prima. Il canale cinese 龙科多工作室, che segue l’industria dei semiconduttori, ha spiegato chi ha ragione: la novità non è la risoluzione, ma quanto della macchina è ormai fatto in Cina.
Cosa ha mostrato SMEE
Non una macchina funzionante, ma un modello in sezione trasparente che mostra il percorso della luce e la meccanica interna. I dati, diffusi da SMEE e riportati dalla stampa economica cinese (Every Day Economic News, 8 novembre):
- SSC800 usa luce KrF (laser a fluoruro di kripton), SSB800 la lampada i-line: è un’unica piattaforma che accetta le due sorgenti;
- doppio stage per i wafer e obiettivo ad alta apertura numerica sviluppati in casa;
- oltre il 90% dei componenti chiave è cinese: ottiche e illuminazione, stage di wafer e maschere, trasporto dei wafer, sensori di allineamento;
- sono già al lavoro in fabbriche cinesi di chip logici e di memoria, con oltre 10 milioni di wafer lavorati e una disponibilità delle macchine sopra il 92% (numeri del produttore, non verificati da terzi).
Perché la risoluzione non cambia
SMEE vende già la serie 600: SSB600 (i-line, 280 nm), SSC600 (KrF, 110 nm) e SSA600 (ArF, 90 nm). Le lettere indicano la sorgente di luce, e la sorgente fissa quanto fine si riesce a disegnare. Le voci di un salto a 90 o addirittura 60 nanometri, quindi, secondo il canale sono esagerate: con il KrF si può scendere sotto i 110 nm usando più esposizioni, ma costa di più e fa calare la resa, e chi produce chip maturi bada al centesimo. Chi vuole andare più in basso passa alla luce ArF.
Cosa cambia allora? Secondo il canale, la serie 600 era la piattaforma “da zero a uno”, con molti pezzi comprati all’estero; la 800 è quella commerciale, quasi tutta cinese. SMEE dice anche che la precisione di sovrapposizione tra uno strato e l’altro del chip si avvicina ai riferimenti internazionali, ed è quella che decide quanti chip buoni escono da ogni wafer. Una cosa manca nell’elenco dei pezzi cinesi: la sorgente di luce.
Il pezzo che manca: l’ArF
Nella serie 800 non c’è un modello ArF, che invece esisteva nella 600. Per il canale è il passo chiave: dall’ArF a secco si passa all’ArF a immersione, la tecnica che ha portato ASML a stampare chip a 28 nm con una sola esposizione e su cui si sono fermate Nikon e Canon. Con la luce EUV la Cina è ancora più indietro, come si vede dalla sorgente EUV di Langdao Silex.
Cosa significa
Le macchine KrF e i-line servono per i chip “maturi” (controllori, sensori, gestione dell’energia, strati meno fini delle memorie), quelli che finiscono in auto, elettrodomestici e caricatori. Averle fatte in casa protegge la Cina dalle restrizioni sull’export: è la stessa spinta che l’ha portata a comprare meno macchinari dal Giappone, a sviluppare memorie proprie come la DRAM 4F² di CXMT e a togliere i PC Intel e AMD dagli uffici pubblici. Per i chip dei telefoni di punta, invece, servono ancora macchine che la Cina non ha.
Fonte: video di 龙科多工作室 su Bilibili (anche le foto nel testo), con i dati di SMEE riportati da Every Day Economic News.
